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产品名称:HS2
The HS2 is a combinason of 2 HS1 nanopositioner. It is offered with 10, 30, 50, 70 or 100 μm range of motion along X, Y axis. This nanopositioner is part of our high-speed product line (High power controller available).
详细介绍

Features :

High speed, direct drive
Stackable for XYZ motion
10, 30, 50, 70 or 100 µm XY motion
Closed loop control
Silicon sensor technology
Less than 100pm noise floor
 
Applications :
Interferometry
Nanolithography
3D polymerisation
High speed focusing
Adaptative optics
 
Specifications  
             
  HS2.10 HS2.30 HS2.50 HS2.70 HS2.100 Unit
Range of motion 10 30 50 70 100 (µm)
Resolution 0.01 0.03 0.05 0.07 0.1 (nm)
Typical noise floor 0.001 0.003 0.005 0.007 0.01 (nm)
Full range repeatability 0.02 0.06 0.1 0.14 0.2 (nm)
Linearization (typical) 0.02% 0.02% 0.02% 0.02% 0.02%  
Resonant frequency X / Y 7000 / 5000 4000 / 3000 4000 / 3000 4000 / 3000 1500 / 1000 (Hz)
Stiffness 5.2 3 3 3 1.1 (N/µm)
Maximum load * :            
- horizontal use 1 (kg)
- vertical use 0,5 (kg)
Sensor Silicon HR sensor  
Size W x L x H 69.5 x 69.5 x 28.2 69.5 x 69.5 x 28.2 95.5 x 95.5 x 28.2 113.5 x 113.5 x 28.2 113.5 x 113.5 x 28.2 (mm)
Material Al  
Cable length ** 2 (m)
Controller Standard or High Speed  

 

*Higher load on request 

**Higher lenght on request

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